【北崎電氣】石化工業對微壓力傳感器的需求

我國石化行業大量使用的壓力傳感器主要依靠進口，國產的壓力變送器在產品種類和性能方面和國外還有一定的差距。實現壓力傳感器的國產化，對于國家的經濟和國防安全，振興民族產業等都具有重要意義。本文通過對比研究在石化領域使用的國內外幾種典型的壓力變送器，分析了壓力傳感器國產化的關鍵所在。通過努力，可以打破基于MEMS傳感器的壓力變送器國外的壟斷地位，實現石化行業壓力傳感器的國產化。

微壓力傳感器是采用半導體材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器。與傳統壓力傳感器相比，微壓力傳感器具有精度高、靈敏度高、動態特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優點。純單晶硅的材料疲勞小，采用這種材料制造的微壓力傳感器的長期穩定性好。同時，微壓力傳感器易于與微溫度傳感器集成，增加溫度補償精度，大幅提高傳感器的溫度特性和測量精度。如果將2個微壓力傳感器集成，又可以實現靜壓補償，從而提高壓力傳感器的靜壓特性。由此可見，微壓力傳感器具有許多傳統壓力傳感器不具備的優點，能夠很好地滿足石化行業對壓力傳感器的需求。

石化行業對壓力變送器的需求主要集中在可靠性、穩定性和高精度3個方面。其中，可靠性和許多附加需求，如，量程比、總線類型等，依賴變送器的結構設計、機械加工工藝水平和結構材料。壓力變送器的穩定性和高精度則主要由壓力傳感器的穩定性和測量精度保證。與壓力變送器的測量精度相對應的是壓力傳感器的測量精度和響應速度，與壓力變送器的穩定性相對應的是壓力傳感器的溫度特性和靜壓特性以及長期穩定性。石化行業對壓力傳感器的需求就體現在測量精度、快速響應、溫度特性和靜壓特性、長期穩定性4個方面。

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